質量流量計是一個準確、快速、高效的流量測量儀表。它是對被測介質的流量進行連續測量，測量結果是以公斤或噸等重量工程單位顯示出來的流量儀表。 它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，它是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。
 

　　流量單位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute) 來表示，亦即每分鐘標準毫升、每分鐘標準升。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之處。
 

　　主要的優點：
 

　　(1) 直接測量氣體的質量流量
 

　　可以直接測量流體質量流量，輸出質量流量信號，無需其他設備，如溫度測試儀和壓力表，也無需進行換算。
 

　　(2) 無可移動部分
 

　　本身無類似轉軸等的移動部件，增加了本身的可靠性，無需機械維護。
 

　　(3) 可以精確的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。
 

　　(4) 測量控制的自動化
 

　　可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示，流量自動計量，數據自動記錄，計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0～+5V或4～20mA,?數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口，能非常方便地與計算機連接,?進行自動控制。
 

　　(5) 精確地定量控制流量
 

　　質量流量計可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制等。